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URE-2000/35型紫外光刻機

簡(jiǎn)要描述:URE-2000/35型紫外光刻機,采用三柔性支點(diǎn)實(shí)現高精度自動(dòng)調平;真空接觸自動(dòng)曝光;樣片升降、調平、接觸、曝光、復位實(shí)現自動(dòng)化控制。

  • 產(chǎn)品型號:
  • 廠(chǎng)商性質(zhì):生產(chǎn)廠(chǎng)家
  • 更新時(shí)間:2024-06-04
  • 訪(fǎng)  問(wèn)  量:3727

詳細介紹

品牌其他品牌價(jià)格區間面議
儀器種類(lèi)微流控芯片系統應用領(lǐng)域醫療衛生,環(huán)保,電子

 

產(chǎn)品名稱(chēng):URE-2000/35型紫外光刻機
主要技術(shù)指標:
曝光面積:100mm×100mm
分辨力:1um(膠厚1.5μm的正膠)
對準精度:±0.8μm
大膠厚:300μm(SU8膠)
掩模尺寸:2.5 inch、3 inch、4 inch、5 inch
樣片尺寸:直徑Ф15mm--Ф100mm、厚度0.1mm--6mm(可擴展為15mm);
照明均勻性:±4%(Ф100mm 范圍)
汞燈功率:350W(直流)
掩模相對于樣片運動(dòng)行程:X: ±5mm; Y: ±5mm; θ: ±6°
URE-2000/35型紫外光刻機技術(shù)特點(diǎn):
創(chuàng )新采用三柔性支點(diǎn)實(shí)現高精度自動(dòng)調平;真空接觸自動(dòng)曝光;樣片升降、調平、接觸、曝光、復位實(shí)現自動(dòng)化控制;采用積木錯位蠅眼透鏡實(shí)現高均勻照明;可連續設定分離間隙;采用雙目雙視場(chǎng)顯微鏡實(shí)現高對準精度。整機具有性能可靠、操作方便、自動(dòng)化程度高等特點(diǎn)。
 

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